TDK-MICRONAS

REHATEC war hier als Generalplaner tätig. Dank der durchgängigen Planung, Konzeption und Projektüberwachung aus einer Hand konnte das 5-geschossige Gebäude mit rund 20.000 Kubikmeter umbautem Raum und einer hochkomplexen technischen Grundausstattung innerhalb von acht Monaten fertiggestellt werden.

Besondere Projektmerkmale:

• Schwingungsentkoppelung Lithographiebereich
• Doppelbodensysteme
• Schleuseneinrichtungen
• Reinstwasseraufbereitung
• Bulk- und Spezialgase
• Chemikalien-Versorgung und -Entsorgung
• Abwasseraufbereitung
• Feuerlöschtechnik

Projektdaten

Baumaßnahme
Neubau Wafer Fab

Bauherr
TDK-Micronas GmbH, Freiburg

REHATEC
Generalplanung, TGA - HLKS/Elektrotechnik/Prozesstechnik/EMSR, HOAI Leistungsphasen 1-9