UNITED MONOLITHIC SEMICONDUCTORS (UMS)

Für die Fertigung von Hochfrequenzmodulen wurde ein Neubau notwendig mit einer bis ins Detail auf absolute Sicherheit getrimmten Prozessgasversorgung. Da einige der verwendeten 16 Gasarten in höchsten Gefahrenstufen klassifiziert sind, hatte bei der Planung die Leckagesicherheit im Leitungssystem wie auch der Brandschutz höchste Priorität.

Bei der Einrichtung einer zentralen Lösemittelversorgung wurden die drei Haupt-Lösemittel in einer zentralen Versorgungsanlage neben dem Produktionsgebäude untergebracht.

Besondere Projektmerkmale:

• Reinstgaseversorgung mit korrosiven, giftigen und brennbaren Gasen
• Brandschutz und Sicherheitstechnik
• Automatische Spüleinrichtungen
• Lösemittelversorgung und -sammlung

Projektdaten

Baumaßnahme
Neubau Gaseversorgung mit Gebäude, zentrale Lösemittelversorgung

Bauherr
United Monolithic Semiconductors GmbH, Ulm

REHATEC
Generalplanung, TGA - Prozesstechnik/EMSR, HOAI Leistungsphasen 2-8