Forschung, Medizintechnik
Erweiterung der Produktion und der Büroflächen
Forschung
Neubau Forschungszentrum für höchsteffiziente Solarzellen
Halbleiter
Neubau Wafer Fab
Halbleiter
BAIII- EPI Zentrum
Halbleiter
Neubau RB300 Halbleiterfabrik
Halbleiter
Neubau Gaseversorgung mit Gebäude, zentrale Lösemittelversorgung